美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術*到之處，美國MKS INSTRUMENTS產品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術，其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中?！∶绹?b>MKS INSTRUMENTS電源、測量、控制和復雜氣體相關的工藝監控技術等改進了設備的完好率和產品成品率，提高了生產產量和產品性能．
　　美國MKS INSTRUMENTS目前產品主要包括：壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數字壓力控制儀器和閥等提供半導體工藝上、下游壓力控制設備；質量流量控制器測量和控制半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業提供了可靠的固態電源；STEXI系列產品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態和LIQUOZON液態臭氧發生器；另外美國萬機儀器MKS NSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產品、氣體分析儀、靜電控制、控制及信息技術等系列解決方案。


美國MKS 主要產品：MKS流量計,MKS薄膜真空計,MKS傳感器,MKS開關,MKS壓力傳感器,MKS真空硅,MKS發生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應氣體發生器,MKS壓力控制閥